最早的直讀光譜儀產(chǎn)生在第二次世界大戰(zhàn)末期，戰(zhàn)爭(zhēng)中建造了大量的飛機(jī)，而飛機(jī)用特殊鋼、鋁鎂合金等金屬材料的濕法檢測(cè)工作的繁瑣分析，迫使一些人著手研究多條光譜線同時(shí)測(cè)定的光譜儀，并于1944年美國(guó)應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室（ARL）研制成第一臺(tái)光電直讀光譜儀的樣機(jī)，1956年該公司直讀光譜儀中使用真空技術(shù)，可同時(shí)測(cè)定金屬元素和C/P/S等非金屬元素。隨著計(jì)算機(jī)、電子技術(shù)的發(fā)展，到20世紀(jì)70年代直讀光譜儀幾乎100%采用計(jì)算機(jī)控制，這不僅提高了分析精度和速度，而且對(duì)分析結(jié)果的數(shù)據(jù)處理和分析過程控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。80年代后期，以德國(guó)斯派克為代表的國(guó)外多個(gè)公司的光電直讀光譜儀相繼進(jìn)入我國(guó)的分析儀器市場(chǎng)

    20世紀(jì)90年代初期，冶金系統(tǒng)已成功用上全自動(dòng)直讀光譜儀。所謂全自動(dòng)，是將光譜儀及其附屬設(shè)備，如切樣機(jī)、磨樣機(jī)、機(jī)械手等安裝在同一個(gè)大箱子內(nèi)，組成一個(gè)移動(dòng)式光譜實(shí)驗(yàn)室。此種全自動(dòng)光譜儀多放置在煉鋼爐旁。工作時(shí)，只需要人工見樣品置于一個(gè)專用窗口的抽屜內(nèi)。以后的全部過程無需人工干預(yù)，全有計(jì)算機(jī)的預(yù)定程序自動(dòng)完成。

    目前商品化的儀器主要是固定多道式光電直讀光譜儀，一般采用高刻線的光柵或中階梯光柵與棱鏡交叉色散量?jī)煞N方法來提高儀器的色散率及分辨率。進(jìn)入21世紀(jì)以來，儀器的數(shù)字控制技術(shù)已經(jīng)取代模擬控制技術(shù)，固體檢測(cè)器（如CCD/CID）有取代PMT的趨勢(shì)也越來越明顯，使儀器向小型化、精密化發(fā)展。