真空泵油每半年或一年更換一次，真空泵油必須全部更換，其操作方法如下。

第一步，關閉前置閥門。停止真空泵220VAC供電電源。可以將真空泵供電220VAC插頭從真空泵控制盒插座上拔下。

第二步，擰松軟管夾子（連接閥與收集器之間）取下收集器，放到一個較大的工作場地。

第三步，取下排油塞子把油排往一個合適的容器內。此時要啟動真空泵，并倒入半瓶新的油入泵內，來沖洗殘渣。

第四步，停泵并關閉排放塞，用新油罐入泵內到孔（觀察孔的）一半為止。

第五步，處理分子篩。分子篩用來吸收油的蒸汽微粒，以防止進入光學室。收集器內分子篩飽和后應該更換，顏色變成褐色，通常可以用分子篩加熱對其進行再生。取下收集器的帽子，更換新的分子篩，此時應注意防止其他粉狀雜物進入收集器中。周期性地搖動收集器，確保這些粉狀物已填好，直到全部充滿其內部。然后清洗“0”形環，涂上真空脂蓋緊帽子。                                                                      

第六步，清理所有相連接的表面，并涂上一層真空脂，重新連接泵和收集器到前

置閥。

第七步，關閉真空泵側面排泄側。開始抽真空至少20min以上，再打開前置閥。如果更換了真空泵油和分子篩后，發現真空保持不佳，并且啟動頻繁，則說明你更換的分子篩由于保存不當已吸入水汽，則需要對外子解再加熱處理。