隨著科學技術的發展，掃描電子顯微技術和X射線微區分析已成為檢測物質性能的重要手段。我國目前已擁有相當數量的掃描電鏡和能譜儀，今后將會有更多的單位裝備這類先進儀器。用于金屬、陶瓷、高分子、水泥、半導體、化工、礦產、紙張、食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結構分析、微區化學成分檢測等，對零部件的失效分析、納米或復合新材料的表征，是不可替代的設備。電子顯微分析應用隊伍也在不斷壯大，均需要有合適的參考書籍以深入了解掃描電鏡和能譜儀的物理本質、工作原理、主要結構和實際應用。

本文包含了上述基本內容，另外，對近年來電子顯微分析技術的新進展，如低電壓操作、可變壓力、環境掃描、電子背散射衍射、硅漂移探測器等，均做了詳實的介紹。對于掃描電鏡和能譜儀的應用和樣品制備技術，根據實踐經驗提供切實可行的指導和建議。本書對于儀器使用、學生培養、科研工作上水平都是非常必要的。本文為適合不同專業和水平的讀者使用，盡量減少繁瑣的理論細節和數學推導，力求深入淺出地闡明問題，并結合多年的工作經驗，

在掃描電鏡和能譜儀應用方面提供行之有效的建議。本書不僅適合作為高校教材，而且對于工礦、企業和公司等用戶也是一本技術性和實用性強的專業參考。