（1)樣品制備簡單

這是相對透射電鏡而言的。在德國蔡司掃描電鏡中，導(dǎo)電樣品只要尺寸大小適于樣品臺安裝，可以直接觀察，不必進行特別制備。非導(dǎo)電樣品通過表面鍍導(dǎo)電膜層處理即可。近年可變壓力掃描電鏡（VPSEM）和環(huán)境掃描電鏡（SEM）的發(fā)展、采用差分真空系統(tǒng)，使樣品周圍的真空度保持較低或可變，樣品不論干濕，例如含水的動植物樣品或絕緣體均可以直接觀察，大大拓寬了掃描電鏡的應(yīng)用范圍。

（2）綜合分析能力強

德國蔡司掃描電鏡可以安裝多種附件，分別檢測不同的信號，提供樣品的相關(guān)信息。德國蔡司掃描電鏡不單純是微觀放大系統(tǒng)，已經(jīng)變成一臺具有多種功能的分析儀器。能譜儀（EDS)和波譜儀（WDS）是最常用的附件，用于檢測樣品出射的特征X射線，提供材料化學(xué)成分的定性或定量分析結(jié)果。安裝電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD)，檢測樣品出射的背散射電子，用于表征晶體樣品的結(jié)晶學(xué)特性。利用樣品拉伸臺，對材料施加應(yīng)力，可以在拉伸過程中觀察材料動態(tài)應(yīng)變特性，這是研究金屬和高分子材料的一種必要手段。

(3)操作容易

現(xiàn)代德國蔡司掃描電鏡均由計算機控制，自動化程度高，各種操作參數(shù)和條件均保持在最佳值，使用者只要通過初步訓(xùn)練即可以很快上手，利用鼠標(biāo)操作各種功能。圖像或成分檢測均提供數(shù)字化結(jié)果，存入光盤或閃盤中，可以在任何一臺計算機上使用各種圖像軟件進行處理。這也是掃描電鏡使用越來越普遍的原因之一。為現(xiàn)代場發(fā)射掃描電鏡和能譜儀，為現(xiàn)代常規(guī)掃描電鏡。